多晶硅工艺
    ● 改良西门子法-闭环式三氯氢硅氢还原法

    氯化氢和工业硅粉在一定温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
    工序有:合成-提纯-还原-尾气回收-氢化和后处理。

    ● 硅烷法-硅烷热分解法(美国Asimi和SGS)

    硅烷SiH4是经过四氯化硅氢化法,硅合金分解法,氢化物还原法,硅的直接氢化法等方法制取,然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉中生产棒状高纯度多晶硅。

    ● 流化床法

    四氯化硅,氢气,氯化氢和工业硅在流化床内高温高压下反应生产三氯氢硅,进一步歧化加氢生成二氯二氢硅,继而生成硅烷气,通入到加入小颗粒硅粉的流化床反应炉内加热分解反应,生成粒状多晶硅产品。

多晶硅用阀门
    ● 波纹管阀门:调节阀、截止阀

    ● HAST C或 Monel

    ● O型切断球阀

    ● 耐磨球阀阀球和阀座采用粉末碳化钨高速喷射或整体碳化钨,用于硅粉输送

    ● 衬氟阀门

常用阀门品牌


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