多晶硅工艺
● 改良西门子法-闭环式三氯氢硅氢还原法
氯化氢和工业硅粉在一定温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
工序有：合成-提纯-还原-尾气回收-氢化和后处理。
● 硅烷法-硅烷热分解法（美国Asimi和SGS)
硅烷SiH4是经过四氯化硅氢化法，硅合金分解法，氢化物还原法，硅的直接氢化法等方法制取，然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉中生产棒状高纯度多晶硅。
● 流化床法
四氯化硅，氢气，氯化氢和工业硅在流化床内高温高压下反应生产三氯氢硅，进一步歧化加氢生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气，通入到加入小颗粒硅粉的流化床反应炉内加热分解反应，生成粒状多晶硅产品。
多晶硅用阀门
● 波纹管阀门：调节阀、截止阀
● HAST C或 Monel
● O型切断球阀
● 耐磨球阀阀球和阀座采用粉末碳化钨高速喷射或整体碳化钨，用于硅粉输送
● 衬氟阀门
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